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繰返し精度: 0.02 mm - 0.1 mm
積載量: 3 kg - 120 kg
速度: 100 mm/s - 4,000 mm/s
... 直線運動XYZステージガントリーロボット多軸位置決めガイドシステムベルト駆動アクチュエータ ボールねじモジュール、ベルト駆動リニアガイド、位置決めステージ、直交ロボット用モーションコントローラ。CE、FCC、RoHS、ISO9001認証。 多種多様な即出荷可能製品 10個からの数量割引 カスタムOEMソリューション プログラミングサービス OEMまたはカスタム設計が必要な場合は、こちらをご覧ください - https://www.fuyumotion.com/industry-solution FUYU ...
繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm
... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...
繰返し精度: 0 µm - 1 µm
積載量: max 2.0 kg
ストローク: 3 mm - 4 mm
... MP200-5 小型XYZファイデルタポジショニングシステム カスタマイズ可能 - 0.007 µmまでの超高分解能 - 最大位置決め精度（RxおよびRyで±1.5 - 最大20 Nの負荷容量 - 堅牢な自己保持型スライディングスレッドドライブによる0.07 µmまでの微細な動作 - ソリッドベアリングジョイントによる最高の耐干渉性 - すべての自由度を使用して±0.5 µmまで絶対的に一定の繰返し精度 - 5軸制御エレクトロニクス内蔵により非常にコンパクト - ...
繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm
... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 ...
繰返し精度: 1.5, 5.5 µm
ストローク: 76 mm
速度: 50 mm/s
... 最小限の施工スペースで歩留まり最大化 EUV露光機の小型化・自動化のための補完的な偏光フィルターとして開発された高精度位置決め装置です。約120×180×31mmという非常に限られたスペースで、既存のウェーハステッパーの露光品質と歩留まりを最大化します。EUVや乾燥・無酸素の純窒素雰囲気など、過酷な環境下での高解像度プロセスにも対応します。 過酷な環境下での精度を最適化 - EUV自動露光装置における小型化に最適 - 最小のスペース（約120×180×31mm）で、既存のウェーハステッパーシステムの歩留まりと解像度を最大化 - ...
繰返し精度: 3.3, 2.3 µm
ストローク: 200, 305 mm
速度: 20 mm/s
... この検査システムは、御影石構造上のXYステージKT470と手動Z軸ユニットから構成されています。この組み合わせは、クリーンルーム用の生産システム/インラインプロセスの柔軟でモジュール化された設計に適しており、オプションで回転式または電動式のZ軸を拡張できます。 12インチ/300mmまでのウェハーのフレキシブルな検査プロセスに最適です。 交換可能なプロセスヘッド用ホルダー（顕微鏡、センサーなど） 様々なスキャン範囲と手動高さ調整（オプションでモーションコントローラを使用した電動化も可能） 低メンテナンスで24時間365日の生産が可能、クリーンルームクラスISO ...
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