USB 2.0監視システム

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測定用監視装置C10346-01

加工放出プラズマ

測定用監視装置

C10346-01

C10346-01は、半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。仕様 • 型名 : C10346-01 • 測定波長範囲 : 200 nm～950 nm • 測定波長精度 : ±0.75 nm • 波長分解能（FWHM） ...

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