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ALD貯蔵マシンPD-520 series

ALD貯蔵マシン

PD-520 series

... AlO+SiN薄膜蒸着。 - 原子層蒸着プロセス、より良い膜の均一性。 - 同一プロセス装置または同一炉管で多層薄膜を蒸着し、プロセスステップとウェハー破損率を減らし、歩留まりを効果的に向上させる。 - 液体ソース前駆体の蒸気供給と前駆体の急速切り替え技術を独自に研究開発。 - 異なる前駆体や材料のパッシベーション層成膜に適しており、プロセス拡張のスペースが広い。 ...

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ALD貯蔵マシンAlOx

ALD貯蔵マシン

AlOx

... 本装置は、結晶系太陽電池のウェーハ前面に熱原子層堆積法（ALD）によりAl2O3薄膜を堆積させ、パッシベーション層を形成することで効率を高めるものです。仕様ハイスループット：12,800枚/時（1,600枚/艇）。サイクルタイム：30分稼働率：97 ...

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ALD貯蔵マシンC30H ALD

ALD貯蔵マシン

C30H ALD

... 実験室でのテストや小物部品の工業生産に最適 3D複雑形状部品に最適 Al2O3、TiO2のALD成膜が可能リモートプラズマソース 4つの加熱プリカーサライン付きガスパネル（デフォルト）。全体寸法 (L x W x H) - 2250 x 1160 x 1450mm 重量 - 350 kg チャンバーサイズ - ∅ 295 x 370 mm ツーリングサイズ - ∅ 260 x 320 mm 工具最大積載質量 - 100kg ダイマー負荷容量 - 150g ポンプ容量 ...

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