円形真空チャック

... リソグラフィーおよびウェハー検査用セラミック部品 次世代リソグラフィーおよびウェハーハンドリングアプリケーションに最適な当社の超高純度セラミック部品は、コンタミネーションを最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。 リソグラフィおよびウェハ検査コンポーネント ケミカルアタックに耐性があり、熱的に安定している当社の高純度セラミック部品は、リソグラフィー処理、ウェハーハンドリング（低汚染）、およびウェハー検査（極めて高い耐久性と硬度、寸法安定性）に最適です。用途には以下が含まれます： フォトマスク基板 ウェーハチャック ウェーハステージ部品 ウェーハテーブル 推奨リソグラフィー＆ウェハー検査材料 高純度アルミナ UltraClean™ ...

... 旋盤 ロータリーインデキシングテーブル ロータリーテーブル 内径と外径の異なるワークの固定が可能 ご要望に応じた特別なソリューション ...

... タスク 機械的に固定できないワークを正確にクランプし、ハンドリングする。アプリケーションの分野 >計測技術 >医療技術 >電子産業 デザイン／構造 クランププレートの本体は、天然の硬質石（御影石）またはセラミック素材でできています。用途に応じて、クランピングプレートには微細な穴や微細な吸引溝が設けられています。部分的な面は別々に切り替えることができます。 テクニカルデータ >寸法直径320mm、高さ50mm >把持面の平面度0.001mm >把持面と下側の接触面の平行度0,001 適用範囲 機械的に固定できない薄肉のワークや透明フィルムなどを、安全かつ高精度に把持するために使用します。ほとんどの加工方法や素材に対応しています。 加工方法 >エングレービング >放電加工 >コーティング >ミリング 材料 >ガラス >メタル >グラファイト >セラミックス >チタン 応用分野 >メトロロジー >彫金技術 >電子機器・半導体産業 >オプティクス ...

... ロータリー真空チャック はい、それは本当です！ 旋盤または回転テーブル用の真空システムで、従来の方法では保持できない用途にオプションを提供します。 当初は薄い材料と複合材料向けに設計されていますが、新たに設計された真空グリッパを使用することで、予想以上に積極的に機械加工できることがわかりました。 これらのグリッパは、ワークの裏側にくぼみを残しますが、場合によっては横荷重を 400% 以上増加させます。 グリッパは、必要に応じて面上の32 M6ねじ穴に持ち上げ/下げる/再配置することができ、9つの溝のうちの1つからガスケット材料を取り外す/再取り付けることによって、真空チャンバのサイズを簡単に変更することができます。 ...