6 軸ポジショニングステージ

速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm
積載量: 8, 15, 30 kg

... ELMT-XYシリーズリニアモータステージはクロスローラーガイドとリニアモータを組み合わせ、大きな中空構造を持っており、従来のメカニカルガイドでは、特に小さなステップや超精密位置決めアプリケーションのシナリオのために、真直性と平坦性を一致させることはできません。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。顕微鏡下でも優れた運動性能リニアガイドレールの平坦度、真直度が非常に優れている ● 鉄芯リニアモータにより、十分なシステム剛性と動的性能を確保 ...

速度: 15, 100 mm/s
積載量: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 4.88nm ...