6 軸ポジショニングステージ

速度: 15, 100 mm/s
繰返し精度: 0.2, 0.3 µm

... HEX-S5.10.60-XXXシリーズ パラレルモーションプラットフォーム 6自由ステージ 簡単な説明 6自由度のパラレルモーション設計により、シリーズモーションシステムよりもコンパクトで剛性が高く、ダイナミックレンジが大きく、可動ケーブルがないため、より安定し、摩擦が少ない。 ...

速度: 100, 15 mm/s
積載量: 750 kg

... HEX-S6.50.200 6軸六脚トライポッド構造体 パラレル6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、利用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

速度: 500 mm/s
繰返し精度: 0.15, 0.1 µm
積載量: 50 kg

... E-ABT-XY-360X360（セラミックリニアモータステージ）XYエアベアリングリニアモータステージ 簡単な説明 セラミックバージョンは、エアフローティング構造とガイドエレメントとして高純度アルミナを使用しています。アルミナセラミックスは、花崗岩や金属に比べて膨張係数が小さく、真直性、硬度、耐摩耗性の利点があります。 スキャニング用途や高精度位置決めに最適です。 クリーンルーム対応 360mm×360mmの移動範囲 耐荷重500N 分解能 4.88nm ...

積載量: 10 kg

... 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト開口部460mm コンパクトで堅牢なステージで、一貫した信頼性の高い動作精度を実現 超微細な位置決め分解能と十分なペイロード能力を備えています。 利用可能なスペースが限られている場合、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

ストローク: 50 mm
速度: 100 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... 6軸六脚トライポッド構造体 E-HEX-10.6.100.100-XXXシリーズ 平行6自由度ステージ 簡単な説明 特徴高精度、組み立て可能、カスタマイズ可能、ライト口径460mm コンパクトで堅牢なステージで、安定した信頼性の高いモーション精度を実現します。 超微細な位置決め分解能と十分な可搬重量を備えており、使用可能なスペースが限られている場合に、複雑な多自由度モーションを必要とするアプリケーションに最適です。半導体テストウェハーのレベリングに適しています。光学検査、大口径中空アパーチャー調整光路のアプリケーションシナリオ。 ...

ストローク: 100, 200, 300 mm
速度: 500 m/s
繰返し精度: 0.3 µm

... ELMT-XYシリーズリニアモータステージはクロスローラーガイドとリニアモータを組み合わせ、大きな中空構造を持っており、従来のメカニカルガイドでは、特に小さなステップや超精密位置決めアプリケーションのシナリオのために、真直性と平坦性を一致させることはできません。これは、精密光学デバッグ、インストールおよび処理のための優れたアプリケーションの選択肢です。顕微鏡下でも優れた運動性能リニアガイドレールの平坦度、真直度が非常に優れている ● 鉄芯リニアモータにより、十分なシステム剛性と動的性能を確保 ...