空気軸受円テーブル

... MicroplanのTR 回転テーブルは、それぞれ2 個の花崗岩ディスクから設計および製造され、可能な限り最高の安定性を得るための方法で、圧力/真空空気ベアリング上を移動します。 これらの装置は、ベースに変換することができる底部ディスクを示す。 また、垂直軸を中心に回転する上部ディスクも備えています。 これらのディスクは、統合されたベアリングシステムへの操作ダイが可能です。 ...

... EZ-0675は115 x 115 mmの基本寸法で、非常にコンパクトなエアベアリング回転テーブルです。EZ-0675は、測定機での精密な位置決め作業や、直線軸に取り付けた部品や光学機器の位置合わせに特に適しています。ターンテーブルは、M6およびM4ネジの4つの貫通穴を介して、上または下からネジ止めすることができます。10,000ラインを備えた統合測定システム（Numerik RIK4）は、補間機能付き（RS422、5、10、50、100倍）または補間機能なし（1Vss）のいずれかを供給できます。また、回転テーブルにはHT（高トルク）バージョンもあります。HTバージョンでは、全高が49mmから60mmに増加します。マグネットプリロードにより、EZ-0675は供給エアーを切ると自動的にロックされます。水平にも垂直にも、どの向きにも設置できます。使用されている材料と潤滑剤の不使用により、この回転テーブルはクリーンルーム環境での操作に適しています。 用途高精度位置決めおよび測定システム、検査技術、試験システム、校正システム、光学アライメント、位置決めの同期および/または繰り返し精度に高い要求があるアプリケーション。 ...

直径: 149 mm

... EZ-0275は、長年の実績のある中型のダイレクトドライブ式ロータリーテーブルです。トルクモーター（IDAM RMF 2相または3相）により、最大660 rpmのダイナミックアプリケーションを実現できます。この回転テーブルは、非常に精密な回転運動と高い繰返し精度が要求される用途に特に適しています。18,000行程の測定システム（Numerik Jena RIK4）には、オプションで5、10、50、100の補間係数を設定できる。補間係数を低く設定すると高速化が可能になり、高く設定すると繰返し精度が向上する。ローターはマグネットで予圧され、エアー供給を切るとハウジングにクランプされ、その位置に固定されます。取り付け位置に制限はありません。使用されている材料とエアベアリングは基本的に無潤滑で作動するため、回転テーブルはクリーンルームでの使用に適しています。最大許容可搬質量は600Nです。 用途高精度位置決めおよび測定システム、検査技術、試験システム、校正システム、光学アライメント、位置決めの同期および/または繰り返し精度に高い要求があるアプリケーション。 ...

... EZ-0570ロータリーステージは、その高い耐荷重（アキシャル/ラジアルで最大2,200N）により、特に40kgまでの重量物の高精度位置決めに適しています。特に、非接触測定システムによる測定作業に適しています。強力な鉄芯トルクモーターを装備しているため、動的アプリケーションも実現できます。軸方向と半径方向の誤差をさらに低減するために、回転テーブルはアイアンレスモーターを使用することもできます。18,000ラインの測定システム（Numerik RIK4）は、オプションで5、10、50、100の補間係数を供給できます。ローターは磁力によって予圧され、エア供給を止めるとハウジングにクランプされ、その位置に固定されます。設置位置に制限はありません。 用途高精度位置決めおよび測定システム、検査技術、試験システム、同期および/または位置決めの再現性に対する要求が高いアプリケーション。 ...

直径: 300 mm

... 高いアキシャル荷重容量と100nm以下のアキシャル/ラジアル誤差モーションを持つEZ-0779ロータリーテーブルは、もともとウェハープロセス用に開発されたもので、幅広いアプリケーションに適しています。ダイレクトドライブ回転テーブルは、強力な水冷トルクモーターを装備しています。オプションで、最大6つのエアー/真空チャンネルを備えたロータリーフィードスルーを組み込むことができます。18,000本ラインの測定システム（Numerik Jena RIK4）は、オプションで補間係数5、10、50、100のいずれかを選択できる。補間係数を低く設定すれば高速化が可能になり、高く設定すれば繰返し精度が向上する。設置位置に制限はありません。 用途ウェーハ研削、ウェーハ薄片化、テストシステム、同期や位置決め精度に高い要求があるアプリケーション ...

直径: 300, 240, 200 mm

... EZ-RP201 回転テーブルシリーズは、アキシャル誤差 30 nm 未満、ラジアル誤差 50 nm 未満で、同心度に対する最も高い要求を満たしています。特殊なH設計と最適化されたベアリングレイアウトにより、特に高いアキシャル荷重容量と剛性を実現しています。ステンレス製ターンテーブルは、フランジ付きモータまたはベルトプーリで駆動します。 用途精密旋盤加工、研磨、研削、ウェーハ研削分野のドライブ/ベアリングとして。 ...

直径: 340 mm

... EZ-0778パッシブロータリテーブルは、高いアキシャル、ラジアル荷重容量と剛性を特徴としています。100nm以下の低誤差モーションにより、高精度加工工程における回転運動に最適です。エアベアリングロータリーテーブルは、ベローズカップリングとプーリーを介して外部モーターで駆動することができます。ご要望に応じて、工場で事前に組み立てることも可能です。設置位置に制限はありません。 用途精密旋盤、研磨、研削、ウェーハ研削の分野でのドライブ/ベアリングとして、同心度の要求が高い用途に。 ...

直径: 204 mm

... シリーズRTHダイレクトドライブ回転ステージは、優れた角度位置決めを提供し、以下のような問題を解消するように設計されています。 ウォーム、ギア、ベルトドライブに関連するバックラッシュ、摩擦、摩耗の問題を排除するように設計されています。 コンパクトなダイレクトドライブ構成で、アキシャルブラシレスRotoLinearモータリングモジュールと平面エアベアリングを組み合わせています。 大面積のエアベアリングは十分なペイロード剛性を提供し、ぐらつきや振れに対する性能を最大化します。 ...

... GeoInspec 手動スピン空気軸受回転テーブル最適 円形状形状検査用標準ラボで一般的に見られる世界クラスの精度を維持しながら、作業現場環境で円形部品を検査します。 オプションとアクセサリ： -防振花崗岩ベース -測定装置の正確な位置決めのためのカラムユニット -データ収集ソフトウェア ...