スキャナー用配置システム

繰返し精度: 1.9 µm - 4.4 µm
積載量: 50 kg
ストローク: 100 mm - 1,000 mm

... バキュームチャック付きXXL XYZポータル カスタマイズ可能： - 焦点変動がある自動表面検査に最適 - 50kgまでのサンプル重量に対応（真空ステージを除く） - パッシブ振動減衰と建物振動のデカップリング（VDI 2627による標準測定室品質クラス3） - 1,000,000回のフルサイクルと500,000回のフルサイクルのメンテナンス間隔（2年毎）の非常に長い寿命 この位置決めシステムは、1,000 x 1,000 mmの領域で真空チャックを移動します。標準システム ...

繰返し精度: 5 µm
積載量: 30 kg
ストローク: 300 mm

... オープンフレームXYステージは、顕微鏡を使用した幅広い自動高精度位置決め用に薄型に設計されています。駆動機構をユニット側面に配置し、光や物体が移動中心を通過できるよう、クリアで邪魔にならない2軸開口部を提供します。 オープンフレーム 300x300 mm XYステージの全ストロークにわたって開口部が確保されています。 モデル - ユニット XY-OF-S300x300-A300x300J XYストローク - mm - 300x300 スクリューリード - 4 ...