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エレクトロンビーム源
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光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。 特長 電子ビーム蒸着法の特長 • 蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 • 水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。 ※ハースライナーを使用する場合もあります。 • 高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。 • ...
酸素、窒素および水素用単一バルブRFプラズマソース エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス デバイスの生産に最適 Veecoの単一バルブRFプラズマ ソースを使用すると、エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス原料のGaN成長のための最適条件かつ、プラズマの比類のない安定性と再現性を実現できます。ワンピースPBN(プラズマ ブリッジ ネトラライザ)ガス注入チューブおよびプラズマバルブは、優れた電力カップリングと熱除去用デュアル同軸RFコイルを結合します。カスタマイズされたアパーチャー ...
Scienta Omicron
Scienta Omicron
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