Langmuirプローブ

... プラズマ診断のための先進的ラングミュアプローブ Hiden ESPionプローブによるI-Vプラズマ特性の定期的なモニタリングは、プラズマの安定性と再現性に関連する直接的な情報を提供します。プラズマパラメータの自動リアルタイム外挿により、特性評価や均一性モニタリングに使用するプラズマ特性の詳細情報を提供します。 プラズマの特性評価 プラズマエッチングとALE HiPIMS ダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティング パルスレーザー堆積法(PLD)コーティング SiBCN膜のDCマグネトロン蒸着法 ESPionシステムは、プラズマ解析モデルとしてOrbital ...

... Langmuirプローブは、プラズマの大部分のパラメータを測定するために、最も一般的で広く使用されているプラズマ診断およびプラズマ特性評価装置の1つです。 Langmuirプローブは、フローティングポテンシャル、プラズマ電位、プラズマ密度、イオン電流密度、電子エネルギー分布関数、電子温度などのプラズマパラメータを測定します。 当社のシステムは、Orbital Motion Limitedに基づいて利用可能な最新のプローブ理論を使用しています。圧力レジームの変化に伴い、衝突を考慮してアレン・ボイド・レイノルズに移ります。 ...

... Langmuir Spatial Probe は、自動リニアドライブを使用してプラズマ全体をスキャンし、異なる場所でプラズマパラメータを測定します。 プラズマの空間プロファイリングは、均一性に関する問題の解決に役立ちます。 Langmuir Spatial Probe は、プラズマ密度、浮遊電位、プラズマ電位、イオン電流密度、電子エネルギー分布関数など、プラズマの空間プロファイルを測定します。 当社のシステムは、Orbital Motion Limitedに基づいて利用可能な最新のプローブ理論を使用しています。圧力レジームの変化に伴い、衝突を考慮してアレン・ボイド・レイノルズに移ります。 ...

... プラトンプローブは、絶縁膜をプローブ表面に堆積させたときに堆積プラズマで動作するように設計された平面ラングミュアプローブです。 この堆積耐性 Langmuirプローブは、積極的な絶縁ガスを使用している間、プラズマ反応器内に留まることができます。 プラトンプローブは、プラズマ増強化学気相蒸着（PEVCD）のように、高い堆積速度のプラズマ中のプラズマ密度、イオン電流密度、電子温度などのプラズマパラメータを測定します。 長年にわたり、高堆積の環境でプラズマのパラメータを測定することは困難でした。 ...