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半自動マスクアライナModel 800MBA

半自動マスクアライナ

Model 800MBA

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半自動マスクアライナEVG®610

ウェハー用

半自動マスクアライナ

EVG®610

... EVG® 610は、小型で多目的な研究開発システムで、最大200mmまでの小型基板とウェーハを処理できます。 EVG610は、バックサイドアライメントのオプションを備えた、真空/ハード/ソフト/近接露出モードなど、さまざまな標準リソグラフィプロセスをサポートします。さらに、ボンドアライメントやナノインプリントリソグラフィー（NIL）などの追加機能も提供します。 EVG610は、数分未満の変換時間で、変化するユーザー要件のための迅速な処理と再ツールを提供します。 ...

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