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... 金属組織研磨機 3つのサンプルを保持するオートヘッド 0.5馬力の高トルクモーター 独立電源式ポリッシュヘッド 可変速度 50-600 rpm ヘッドスピード100rpm ACドライブ LCDディスプレイ フェザータッチコントロール 12 "ディスク標準（10 "オプ メトリックモールドオプション 30,40,50mm FRP製フルモールドカバー。クイックチェンジディスクを採用しているため、異なる粒度・研磨布のディスクを任意のステップで使用することができます。 仕様 12インチダブルディスクポリッシャー 50-600RPMの可変速度 セミオート＆マニュアル機能 最大3つの金型を収納可能 ...
シリコンベアウェーハ向け自動片面研磨装置です。セラミックプレート自動搬送、超低熱膨張定盤、定盤冷却、研磨ヘッドの単独強制駆動、精密エアー加圧、通信システムなど、様々な先進技術を搭載しています。
... MINITECH 250 SP1は、Ø200～250mmのプラテンを装備した手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの最も完全な製品群に凝縮されています。 市場で最も充実したシリーズです。使いやすく、信頼性が高く、頑丈なMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MINITECH 300 SP1は、φ250～300mmのプラテンを搭載した手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの最も完全な製品群に凝縮されています。 市場で最も充実したシリーズです。使いやすさ、信頼性、堅牢性を備えたMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MINITECH 250 DP1は、2枚の定盤Ø200～250mmと1台のモーターを備えた手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。使いやすさ、信頼性、堅牢性を備えたMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MINITECH 250 DP2は、Ø200～250mmの2枚のプラテンと2つのモーターを備えた手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。使いやすさ、信頼性、堅牢性を備えたMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MINITECH 300 DP1は、2枚の定盤Ø250～300mmと1台のモーターを備えた手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。使いやすさ、信頼性、堅牢性を備えたMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MINITECH 300 DP2は、Ø250～300mmの2枚のプラテンと2つのモーターを備えた手動式研磨機です。最先端の技術を搭載しています。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。使いやすさ、信頼性、堅牢性を備えたMINITECHは、あらゆるニーズにシンプルに応えます。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたレフィンドカーボンの外観を持つ新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MECATECH 250 SPIは、Ø200～250mmのプラテン／4つのピストン／個別圧力を備えています。最先端の技術を搭載しています。MECATECHシリーズは、手動と自動の両方で使用できます。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。MECATECHは、試料のサイズや数にかかわらず、最適な研磨を保証します。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたリファインされたカーボンルックの新デザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MECATECH 250 SPCは、Ø200～250mmのプラテン／6つのピストン／個別圧力と中央圧力を備えています。最先端の技術を搭載しています。MECATECHシリーズは、手動と自動の両方で使用できます。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。MECATECHは、試料のサイズや数にかかわらず、最適な研磨を保証します。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたリファインされたカーボンルックの新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... MECATECH 300 SPSは、Ø250～300mmのプラテン／8つのピストン／個別圧力と中央圧力を備えています。最先端の技術を搭載しています。MECATECHシリーズは、手動でも自動でも使用できます。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。MECATECHは、試料のサイズや数にかかわらず、最適な研磨を保証します。確かなスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたリファインされたカーボンルックの新しいデザインが特徴です。MECATECH ...
Presi
... MECATECH 250 DPCは、2つのプラテンØ200～250mmのプラテン／6つのピストン／個別圧力と中心圧力を備えています。最先端の技術を搭載しています。MECATECHシリーズは、手動と自動の両方の使用が可能です。750Wから1500Wまでのモーター出力により、PRESIのすべての経験がこの市場で最も充実したシリーズに凝縮されています。MECATECHは、試料のサイズや数にかかわらず、最適な研磨を保証します。洗練されたスタイルとエッジの効いたラインを持つこの新シリーズは、一目でわかる洗練されたリファインされたカーボンルックの新しいデザインが特徴です。 プラテン径 ...
Presi
... ロジテックのトライボCMPシステムは、最大100mm径のダイまたはウェーハに対して、ナノメートルレベルの材料除去能力を提供します。 このCMPソリューションは、今日のデバイス製造プロセスで使用される様々なウェーハ/基板材料に適しています。 Tribo CMPシステムは、CMPの制御と層除去において業界標準を達成し、レーザー品質の表面（0/0スクラッチディグ）を生成し、表面トポグラフィーを向上させます。 また、サブナノメータレベルのRaを達成することも可能です。 この汎用性の高いシステムは、異なるキャリアヘッド、研磨テンプレート、ウェットベンチモジュール、またはエンドポイント検出器を使用することにより、カスタマイズすることができます。 トライボは、処理中の材料サンプルの様々なin-situ要因を特定し、分析するために、複数のセンサーを介して多数のデータ変数を収集することができます。 ...
... POLI-400Lは4&6インチの小型化学機械研磨機で、手動ロード方式を採用し、メンブレンエアバッグを使用して柔軟に圧力を増加させ、摩擦力及び温度終点監視システムを装備することができ、酸化物、金属、STI、SOI、MEMS及びその他の製品の平坦化研磨に使用されています。用途は広いです。 主な機能 ウェハーに膜の背圧をかけ、研磨板は冷却システムを内蔵し、スイングアームドレッサーと摩擦＆温度検出終点監視機能はオプションです。 簡単な操作 PC制御システム、タッチスクリーン制御、マニュアルローディング、ワンボタン自動CMP研磨。 よい両立性 3つの独立したスラリー供給パイプライン、簡単に交換できる研磨プレート、交換可能な4または6インチの研磨ヘッド、異なるサイズとタイプのウェーハに対応します。 省スペース クリーンルームの床面積を最小限に抑えることができます。 ...
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