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... comprovada de gravação a seco, incluindo o desenvolvimento patenteado da bobina de plasma indutivo de acoplamento multi-espiral (MS-ICP) e a sua aplicação para a matriz de materiais semicondutores compostos. A APX300-S ...
... fxP, ou integrado com diferentes módulos de gravação e deposição SPTS numa plataforma de cluster Versalis™. - O design exclusivo da fonte cria uma elevada densidade de iões para aumentar a taxa de gravação ...
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