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Sistemas de microposicionamento para salas limpas
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Carga: 10 kg
Curso: 300 mm
Velocidade: 1 m/s
... MESA XY COM MOTORES LINEARES MESA ROTATIVA DDR ACCIONAMENTO DIRECTO ROTATIVO Curso XY 300x300 mm Rotação ilimitada Codificadores absolutos Resolução linear 0,1 mícron Resolução rotativa 0,25 arc-sec ...
... Opcionalmente com sistema de medição de alta resolução para repetibilidade até 0,005 µm - Pode ser combinado com mesas rotativas para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versão ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
... - Opcionalmente com sistema de medição de alta resolução para repetibilidade até 0,005 µm - Combinável com fases rotativas para aplicações rotativas - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - Versões ...
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