Capacidade de medição de temperatura de canal único com Emissividade Fixa/Selecionável
O Sekidenko OR400M oferece a medição precisa de temperatura essencial para aplicações de semicondutores que requerem comprimentos de onda maiores.
-Comprimento de onda configurável com base no tipo de material e na faixa de temperatura requerida
-Sensor óptico integrado
-Comunicação analógica e digital com protocolos Fieldbus opcionais para controle de loop fechado
Visão Geral
O Pirômetro Óptico OR400M da Advanced Energy estende a flexibilidade da família de produtos Sekidenko para a faixa de comprimento de onda do mid-IR, de 3,3 a 5,2 µm.A OR400M oferece uma capacidade de medição de temperatura de canal único para processos solares de película fina, vidro e semicondutores avançados. O OR400M suporta interfaces RS-232 e analógicas de dados. Devido ao seu design compacto, o OR400M pode facilmente atender aos requisitos de pequenas dimensões de muitas aplicações de processo.
Benefícios
-Melhora a precisão da medição da temperatura em processos críticos
-Aumenta a repetibilidade e minimiza a variação
-Aumenta a produtividade, o rendimento e a produtividade
-Aumenta a estabilidade e a confiabilidade em várias câmaras e materiais de substrato
Funcionalidades
-Medição da temperatura sem contacto com sensores ópticos de lente
-Correção térmica ambiente automática
-Temperatura e taxas de leitura líderes na indústria
-Arquitetura de plataforma altamente flexível e baseada em módulos
-E/S completa e suíte externa de trigger/synchronization
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