Deteção de temperatura por fibra ótica para semicondutores em aplicações de gravação e deposição
O Luxtron® M-1100 da Advanced Energy é a mais recente plataforma de conversor de termometria FluorOptic® (FOT), com uma fonte de luz avançada e uma eletrónica de ruído ultra-baixo melhorada. Duas novas formulações de fósforo patenteadas VioLuxTM e RubiLuxTM foram desenvolvidas para proporcionar uma precisão de 0,5°C, repetibilidade e estabilidade numa gama alargada de -200 a 450°C
Gama de medição de -200 a 450°C para suportar processos avançados de gravação
A eletrónica e os algoritmos avançados de baixo ruído proporcionam uma precisão superior a 0,05°
Os sensores AccuDisc™ permitem que o sensor seja separado da sonda, permitindo uma maior precisão e repetibilidade
Equipa experiente para apoiar o desenvolvimento de sondas personalizadas para OEMs
Tamanho compacto, em calha DIN, para minimizar o espaço ocupado quando integrado em ferramentas e equipamento
Imune a interferências electromagnéticas de fontes de EMI, RF, alta tensão e micro-ondas
Vantagens
Medição sem contacto para minimizar o desvio térmico
Fácil de instalar em equipamento OEM
Características
Ampla gama de temperaturas suportadas
Baixo nível de ruído com taxa de resposta rápida
5 canais num único conversor
Saídas de comunicação flexíveis
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