Pirómetro de temperatura de fibra ótica multicanal, sem contacto, com gama de comprimento de onda configurável
O pirómetro de temperatura de fibra ótica (OFT) Sekidenko 4100T mede a energia infravermelha emitida por um objeto e converte-a em dados de temperatura utilizáveis com gamas de temperatura entre 60 e 3500°C. O pirómetro é configurável para uma variedade de comprimentos de onda de medição com base em materiais alvo, intervalos de temperatura de processo e distâncias de trabalho. A funcionalidade multicanal permite a utilização de até quatro canais de medição com sensores ópticos separados ligados por cabos de fibra ótica. O novo ecrã tátil permite aos utilizadores ajustar facilmente as definições sem necessidade de um computador portátil.
O instrumento proporciona um desempenho superior na medição de temperatura sem contacto, medindo com precisão níveis de sinal mais baixos e lendo alvos de temperatura mais baixos, em que a velocidade e a precisão são requisitos essenciais do processo. Oferece capacidade multicanal e suporta taxas de leitura rápidas até 1 kHz para as medições de temperatura mais exigentes. A sua conceção é modular e pode ser facilmente adaptada para satisfazer os requisitos exclusivos de cada aplicação de processo.
CARACTERÍSTICAS
Melhora a uniformidade wafer-to-wafer e dentro da wafer
Deteção de temperatura imune a RF/EMI
Múltiplos comprimentos de onda possíveis com um único instrumento
Interfaces RS-232/422, Ethernet, EtherCAT e analógicas com capacidades de acionamento e sincronização
VANTAGENS PARA O UTILIZADOR
Medição de temperatura in-situ, sem contacto
Processamento e análise de materiais
Arquitetura de plataforma altamente flexível, baseada em módulos
O modelo 4100T é normalmente utilizado em RTP, recozimento a laser, HDPCVD, MOCVD, ALD, cura por UV e fabrico e embalagem de células solares.
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