Gerador de plasma por radiofrequência eVerest RF

À medida que a indústria de semicondutores acelera em direção a uma nova inflexão, o gerador de RF eVerest™ preenche a necessidade de controlo de plasma transformacional. A sua pulsação configurável de vários níveis permite uma temporização de transição instantânea ou definida pelo utilizador. Além disso, a sintonização de frequência baseada em modelos de alta velocidade e elevada precisão com uma vasta gama de varrimento de frequência proporciona uma maior estabilidade e controlo do processo. Estas capacidades, para além de uma resposta mais rápida ao ponto de ajuste, um overshoot controlado no início dos estados de pulsação e a sofisticada inteligência IoT PowerInsight by Advanced Energy™, permitem a inovação do processo para o próximo nó tecnológico. - Sistema completo de fornecimento de RF, várias opções para soluções de correspondência e sincronização inteligente - Velocidade e controlo em perfis de impulsos multinível programáveis - Resposta de saída de RF de alta velocidade e tempos de subida/queda do estado de pulso - Faixa de sintonia de frequência de até ±10% - Estabilidade dP/dZ projectada - Ecossistema PowerInsight by Advanced Energy™ IoT - Permite o desenvolvimento de novos processos para perfis de deposição e gravação < 2 nm - Fornece ignição confiável com estabilidade de RF independente do comprimento do cabo - Integra-se perfeitamente em qualquer sistema de plasma - Aumenta o espaço do processo e alarga a janela de estabilidade - Apoiado por suporte mundial a produtos e aplicações de centros de serviços locais