Gerador de plasma por radiofrequência Paramount

Avance no desenvolvimento do seu processo com um novo foco na flexibilidade operacional. Os geradores de RF Paramount® HF oferecem amplas faixas de potência, suportam múltiplos cenários de integração e são equipados com interfaces seriais/analógicas padrão e outras interfaces de comunicação opcionais. O Paramount HF permite uma elevada densidade de plasma e energia iónica exigida por dispositivos de elevado rácio de aspeto e acelera o processo para o próximo nó de ferramentas de processamento de semicondutores. A arquitetura digital da plataforma Paramount proporciona uma gestão precisa da potência e simplifica a integração de novas funções - não são necessários prazos de entrega ou alterações de hardware. A saída de alta potência e o desempenho repetível são alcançados pela deteção em tempo real de alterações no plasma. E os limites de proteção interna facilitam um funcionamento fiável. - Controlo totalmente digital - Sintonização de frequência, pulsação e sincronização de pulsação - Medição de potência e impedância em tempo real - Gestão de arcos - Sincronização de fase (CEX) - Melhorar a estabilidade do plasma e a repetibilidade do processo - Controlo preciso da potência de RF - Responde rapidamente às alterações do plasma - Adapta-se facilmente para atender às necessidades específicas da aplicação