Fonte de plasma remoto MAXstream

A linha MAXstream™ da Advanced Energy é a próxima geração de fontes de plasma remotas para limpeza de câmaras. A MAXstream está disponível em caudais de 3, 6, 8, 10 e 12 SLPM NF3 para otimizar o preço e o desempenho. Garantindo uma longa vida útil da câmara e baixa geração de partículas, a Advanced Energy traz seus materiais e tecnologia de fonte de plasma comprovados e diferenciados. O design exclusivo do núcleo de ignição dupla proporciona a melhor fiabilidade de ignição de plasma da sua classe. Apresentando uma ignição fiável e que ataca sempre, a MAXstream RPS oferece um funcionamento mais consistente e menos tempo de paragem para manutenção da RPS. O MAXstream RPS facilita a compatibilidade com os sistemas RPS tradicionais, simplificando a compatibilidade na conceção, bem como permitindo actualizações no terreno para uma nova solução fiável e repetível. - Cinco modelos: MAXstream 300 para aplicações de baixo caudal e MAXstream 600, 800, 1000, 1200 para aplicações de caudal mais elevado - O RPS altamente fiável maximiza o tempo de funcionamento da ferramenta - Capacidade de integração com unidades RPS tradicionais para um caminho de atualização de design fácil para um maior desempenho e fiabilidade - Resfriamento aprimorado das paredes da fonte de plasma para reduzir os danos causados pela expansão térmica e pela erosão química - Monitorização e controlo activos da potência de plasma para um controlo de potência líder na indústria