Fonte de plasma remoto Xstream

O Xstream® RPS altamente eficiente dissocia grandes volumes de NF3 e limpa rapidamente as câmaras, melhorando o desempenho geral da sua ferramenta. A sua câmara de plasma apresenta uma liga de alumínio de alta pureza e capacidades de arrefecimento patenteadas. Construída para durar anos sem reparos ou revestimentos caros da câmara, a Xstream RPS é a escolha inteligente para confiabilidade e desempenho eficiente. - O RPS altamente fiável maximiza o tempo de funcionamento da ferramenta - Transporte eficaz de espécies reactivas para a câmara de processamento para um melhor desempenho - Fonte de plasma acoplado a transformador (TCP) com rede de correspondência ativa (AMN) integrada - Frequência de funcionamento de 225 kHz a 660 kHz - Modelos de potência de 8 kW/10 kW - Elimina os revestimentos dispendiosos da câmara com liga de alumínio personalizada e anodização dura Tipo III - Melhorar o desempenho e a durabilidade da câmara através de um sistema de arrefecimento que minimiza o stress térmico - Aumentar a eficiência e melhorar o fornecimento de energia ao plasma com uma rede de correspondência ativa - Controlo preciso da potência e dos processos graças às medições de plasma em tempo real - Obter uma ignição de plasma fiável e reproduzível através de um sistema de ignição patenteado