Gerador de plasma por radiofrequência Paramount Plus

Controlo multinível de pulsação e forma de onda de pulsação para aplicações emergentes de plasma Obtenha o mais amplo conjunto de características disponível num produto de RF pulsado. O Paramount Plus oferece regulação precisa de RF, manipulação sofisticada de impulsos e aquisição avançada de dados. Concebido para abranger uma vasta gama de energia RF - frequências de 1 a 60 MHz e níveis de potência de 1,5 a 15 kW - o Paramount Plus proporciona a repetibilidade e fiabilidade de que necessita. Paramount® Plus Fontes de Alimentação de RF Pulsada Com pulsação multi-nível, controlo da forma de onda do pulso e o mais amplo conjunto de características disponível num produto de RF pulsado, a plataforma Paramount® Plus permite-lhe ultrapassar os limites da inovação de processos e e oferece o melhor valor do mercado. Excelente estabilidade do plasma, excelente estabilidade de plasma, regulação precisa de RF, manipulação sofisticada de impulsos e aquisição de dados avançada proporcionam a latitude extrema no controlo do plasma necessária para os nós da próxima geração. VANTAGENS PARA O UTILIZADOR controlo preciso de RF e de impulsos maior estabilidade do plasma e repetibilidade do processo resposta rápida a alterações no plasma flexibilidade e adaptabilidade para o avanço das tecnologias de fabrico APLICAÇÕES DE SEMICONDUTORES pVD pECVD gravura