Estufa tubular IWQ

de fusãoa gása vácuo

A indução do IWQ de ALD aqueceu fornalhas de tubo de quartzo encontrou muitas aplicações sempre que especializados, os processos de alta temperatura precisam de ser isolados dos elementos de aquecimento. Os materiais aqueceram-se em uma fornalha de IWQ têm um alto nível da pureza desde que não há nenhuma interação química entre o fonte de calor da indução e o material que estão sendo processados. Os sistemas de IWQ estão disponíveis em uma vasta gama de tamanhos diâmetro do tubo de até 1 medidor e o ‑ 2 mede a câmara longa do processo. A energia é acoplada no mantimento através de um susceptor ou diretamente através do portador de carga. A indução aqueceu-se, fornalha de tubo de quartzo pode acomodar atmosferas controladas tais como a diminuição (hidrogênio), a oxidação, o gás inerte e o vácuo assim como protegê-las contra vapores e produtos químicos agressivos em temperaturas até 2000 °C. As fornalhas de IWQ igualmente oferecem um alto nível da uniformidade axial e radial da temperatura.