Magnetron cilíndrico

Estão disponíveis conjuntos completos de montagem lateral e drop-in com diâmetros de tubo de apoio de 3" (75 mm) ou 5" (125 mm) em comprimentos até quatro metros e, com um espaçamento mínimo entre fontes, estão disponíveis várias matrizes em linha para sistemas compactos de produção de elevado rendimento. O ONYX-Revolution™ utiliza um design de íman universal e económico, com tempos de resposta personalizados para se adaptar a qualquer tipo de alvo. Além disso, foi concebido com componentes prontos a utilizar para um investimento e fiabilidade de baixo custo e de longo prazo. A tecnologia patenteada de ímanes perfilados da Angstrom Sciences cria um perfil de deposição mais próximo do normal entre a fonte e o substrato. O perfil de deposição melhorado permite uma menor acumulação de detritos nas paredes da câmara. Além disso, o conjunto de ímanes da Angstrom Sciences oferece uma maior intensidade de campo magnético, o que permite ao utilizador executar o processo de pulverização catódica a uma potência inferior para atingir taxas de deposição típicas. Inerentemente, os magnetrões cilíndricos podem conter até três vezes a quantidade de material alvo que um magnetrão plano com a mesma área espacial. O ONYX-Revolution™ da Angstrom Sciences optimiza ainda mais o investimento em material com até 85% de utilização do alvo. Além disso, o funcionamento a níveis de potência mais baixos resulta numa poupança de energia típica de 20%.