Magnetron circular

Os magnetrões circulares da Angstrom Sciences tornaram-se reconhecidos como o padrão da indústria de pulverização catódica devido ao Angstrom Advantage™ e a uma série de outras caraterísticas de design que oferecem possibilidades quase ilimitadas em termos de configuração e desempenho do processo. O seu design compacto faz com que os nossos magnetrões circulares sejam ideais para qualquer aplicação nova ou de reequipamento, incluindo os conjuntos de clusters mais complexos para as câmaras de vácuo mais pequenas. As cabeças de baixa impedância proporcionam compatibilidade com RF, CC, CC de média frequência, CC pulsada, HiPIMS e potência de micro-ondas. Utilizamos acessórios padrão ISO NW, bem como flanges de vedação de metal Conflat®. Todas as utilidades são mantidas na atmosfera e são acedidas através de acessórios de compressão O-ring padrão para uma fácil instalação em qualquer sistema de vácuo. As fontes de magnetrões circulares estão disponíveis a partir de 1″ (25mm) até 16″ (406mm) e diâmetros de alvo maiores em configurações padrão ou personalizadas. O nosso grampo de alvo roscado patenteado e a proteção do ânodo nos nossos pequenos cátodos circulares permitem-lhe mudar de alvo sem a utilização de ferramentas auxiliares. A sua capacidade de ajuste incorporada também lhe permite colocar alvos de diferentes espessuras sem utilizar quaisquer dispositivos de espaçamento. Os magnetrões ONYX® podem funcionar a uma pressão extremamente baixa (até à gama de 10-4 Torr) e os nossos modelos com refrigeração direta podem fornecer densidades de potência até 250 watts/in2 (30 watts/cm2) em funcionamento contínuo.