Magnetron rotativo

sob medidacircular

Os magnetrões rotativos são variantes de um magnetrão circular em que o conjunto magnético é rodado mecanicamente em torno de um eixo central. Esta forma de realização, originalmente desenvolvida para aplicações de semicondutores, permite o revestimento uniforme de um substrato estacionário com o menor diâmetro de cátodo possível. Outras aplicações desta tecnologia incluem situações em que o material re-depositado na face do alvo gera defeitos na película em crescimento; num magnetrão rotativo, toda a face do alvo é varrida por um conjunto magnético que roda entre 20 e 600 RPM. A Angstrom Sciences oferece uma gama de magnetrões rotativos, desde 4″ (100mm) até 16″ (406mm) de diâmetro, e são concebidos com uma configuração magnética ajustável que permite a otimização do processo e o aumento da uniformidade. Os nossos magnetrões podem ser montados em configurações internas ou externas. Um magnetrão rotativo oferece uma excelente uniformidade sem movimento do substrato. Isto, combinado com a erosão de face completa, proporciona defeitos extremamente baixos causados por contaminação de partículas. Estes magnetrões também podem ser integrados em máquinas com um espaço limitado, proporcionando mais flexibilidade na sua aplicação.