Magnetron circular

Para aplicações que requerem que o substrato seja exposto a períodos prolongados de elevada exposição térmica, os Magnetrões Circulares de Alta Temperatura da Angstrom Sciences são optimizados com isoladores cerâmicos e vedantes de vácuo que permitem que o cátodo mantenha os parâmetros de desempenho em condições de elevado calor. Estão disponíveis modelos de alta temperatura que funcionam a 200, 300 e 450 graus Celsius. Os Magnetrões Circulares de Alta Temperatura são concebidos para pressões de base na gama de 10-9mTorr e são especialmente concebidos para permitir variações que possam ocorrer durante o ciclo térmico sem fugas ou desvios na qualidade da película.