Magnetron

Na pulverização catódica de díodo, não há uso de ímanes e, portanto, não há campo magnético para conter o plasma. Isto significa que os iões de plasma fluem livremente através do sistema de vácuo e corroem quase toda a área de superfície do alvo, aumentando a utilização do alvo. No entanto, isto também significa que as partículas de película pulverizada são livres de se moverem por toda a câmara e não diretamente para o substrato. Isto pode aumentar significativamente o tempo do processo e, uma vez que não existe confinamento de electrões, o substrato sofrerá mais calor. A Angstrom Sciences fornece díodos para todos os tamanhos de cátodo.