Os filtros da cápsula de CSE são conjuntos compactos da cápsula. São desenvolvidos para a filtragem do fotoresistente, do colaborador, do espadelador etchant e do DI água no processo da fotolitografia, assim como para a filtragem de produtos químicos pequenos do grupo do volume.
Características e benefícios
Construção compacta e resistente do ●
Resistência de alta pressão do ●
O ● baixo sustenta o volume
projeto O-ringless do ●
Projeto descartável do ●, mudança-para fora fácil
Qualidade
As cápsulas do ● produziram em um ambiente controlado
O ● fabricou de acordo com ISO9001 certificou o sistema de gerenciamento da qualidade
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