Os cartuchos de filtro de alto rendimento da série L8E Ф83 foram especificamente concebidos para aplicações de processamento húmido no fabrico de TFT-LCD, tais como revelação, gravação, limpeza de substratos e enxaguamento com água DI. Os filtros estão disponíveis em vários materiais e numa vasta gama de classificações de remoção, com a sua construção única e elevada área de filtragem, resultando numa redução dos custos de substituição e de funcionamento. Têm uma excelente compatibilidade com os vários líquidos do processo, com capacidade para 100 L/min necessários para o processo G4-5.
Características e benefícios
ampla gama de materiais e classificações de remoção
alta área de filtragem e longa vida útil
altas taxas de fluxo e baixa queda de pressão
custos operacionais de filtragem reduzidos
Qualidade
cartuchos produzidos num ambiente controlado
fabricados de acordo com o sistema de gestão da qualidade com certificação ISO9001
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