Medidor de vazão mássica termal CMS

de massapara gásem linha

Medidores de fluxo de gás de alto desempenho e alta capacidade de alcance. Descrição A série CMS de medidores de caudal de massa de gás utiliza o nosso sensor de caudal térmico proprietário como elemento sensor. Através da integração deste sensor de fluxo de massa ultraminiatura, que é fabricado utilizando tecnologia de micromaquinagem e design avançado de canais ultrafinos, foi alcançado um nível sem precedentes de alta precisão e ampla faixa de medição a baixo custo. Com a facilidade de uso e alta confiabilidade, estes medidores de vazão estabelecerão o padrão para o futuro. Fabricado por microprocessadores de silício e tecnologias de película fina, este sensor de fluxo de tipo térmico tem apenas 1,7 mm² e 0,5 mm de espessura. O uso de tecnologia de usinagem de ultra-precisão minimiza as variações na disposição dos elementos e na capacidade térmica. Alta resolução de 1 mm/s na velocidade de fluxo e resposta de alta velocidade de aproximadamente 2 ms são alcançados ao nível do chip do sensor. Quando não existe fluxo de gás, a distribuição da temperatura em torno do aquecedor é simétrica. Quando o gás começa a fluir de Ru para Rd, a temperatura em Ru a montante começa a diminuir, enquanto a temperatura em Rd a jusante aumenta, causando assim uma distorção na simetria na distribuição da temperatura. Esta diferença de temperatura entre Ru e Rd é usada para calcular a velocidade da massa (velocidade x densidade).