Descrição
As séries do CMS intoxicam o medidor de fluxo maciço para Hydogen/hélio
Vista geral
O CMS é gás de confiança da altamente - o medidor de fluxo maciço que usa o sensor do µF de Yamatake (MicroFlow) como seu elemento de detecção. O sensor do µF é um MEMS térmico massa-flui sensor cpable de medir taxas de fluxo ultra-low. A integração do sensor do µF e da tecnologia de projeto avançada da canaleta conseguiu a exatidão elevada e o rangeability elevado a baixo custo.
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