Placa de aquecimento de solda

em cerâmicade precisãode resfriamento

As placas quentes de cerâmica feitas de nitreto de silício podem ser produzidas com um diâmetro exterior de 400 mm. Dentro deste diâmetro, são possíveis quaisquer formas rectangulares, formas personalizadas e aberturas. A altura típica das placas é de 5 mm e com um canal de arrefecimento integrado é de cerca de 15 mm. As propriedades especiais e a baixa massa do material cerâmico permitem taxas de aquecimento rápidas, uma distribuição uniforme da temperatura e uma precisão extraordinária no controlo. Em comparação com o metal, a superfície da cerâmica mantém-se plana devido à sua baixa expansão térmica, mesmo quando utilizada com mudanças rápidas de temperatura. A elevada resistência do nitreto de silício prensado a quente garante uma elevada resistência ao esforço (por exemplo, com cargas de pressão elevadas) e uma excelente resistência ao desgaste. As placas quentes são muito adequadas para processos exigentes em sistemas de processamento de semicondutores. Design personalizado Os nossos projectos internos tornam qualquer modificação no tamanho, configuração ou desempenho simples e conveniente. Podem ser adicionados ao design orifícios de suporte de montagem e furos para sensores de temperatura. Também podem ser adicionadas ranhuras de vácuo cortadas a laser. As nossas placas de aquecimento já vêm retificadas, mas podem ser retificadas até uma planicidade de < 10 μm para atender a requisitos específicos. Além disso, o nosso condutor de aquecimento cerâmico, com o seu design personalizado, permite a integração de várias zonas de aquecimento. Dispositivos para compensar a perda de calor e um cabo de teste interno para medição de temperatura podem ser facilmente incorporados. Para funcionamento em alto vácuo até 1 000 °C, pode ser fornecido um contacto de pino. Em vários projectos de clientes, integrámos uma função de arrefecimento que pode ser produzida por um módulo de arrefecimento com canais integrados.