Máquina de polimento para metais POLI-400L

de precisãocom mesa giratóriade pequena escala

POLI-400L é uma máquina de polimento mecânico químico de pequenas dimensões para 4&6 polegadas, que adopta método de carregamento manual, utiliza airbag de membrana para aumentar a pressão de forma flexível, e pode ser equipada com sistema de monitorização da força de fricção e do ponto final de temperatura, são utilizados para o polimento planarizado de óxidos, metais, STI, SOI, MEMS e outros produtos. As aplicações são amplas. Funções completas Colocar contrapressão de membrana na bolacha, placa de polimento tem sistema de arrefecimento incorporado, cuba de braço oscilante e função de monitorização do ponto final de detecção de fricção e temperatura é opcional Operação simples Sistema de controlo de PC, controlo por ecrã táctil, carregamento manual, polimento automático CMP com um botão. Boa compatibilidade 3 condutas de abastecimento de chorume independentes, placa de polimento de fácil substituição, cabeça de polimento substituível de 4 ou 6 polegadas, compatível com wafers de diferentes tamanhos e tipos. Pequeno espaço no chão Minimizar o espaço de chão de sala limpa.