A Sevenstar lança a nova geração de CS300 MFC para a comercialização de semicondutores. Baseado na plataforma tecnológica CS, o CS300 é a última geração concebida especialmente para equipamentos IC de grande escala. O CS300 MFC tem o algoritmo de compensação de pressão baseado em DF, acabamento de superfície melhorado e especificações em conformidade com a norma SEMI, também estão disponíveis interfaces IGS W e C-seal de 1,125".
características
1. Alta precisão e resposta rápida
a precisão do MFC CS300 foi melhorada para ±0,8% de S.P., e os modelos mais avançados têm um tempo de resposta inferior a 0,5 segundos.
2. Baixo desvio de zero e coeficiente de temperatura
a invenção de uma nova tecnologia de sensores permite que o MFC CS230 mantenha a estabilidade e resista a flutuações de temperatura. Sem um amplificador de zero automático, o desvio de zero esperado é inferior a 0,6% FS / ano, e o coeficiente de temperatura é inferior a 0,02% FS / ℃ (zero), 0,05% FS / ℃ (span).
3. modelos com vedação de metal e recurso de alta pureza
o processo especial de superfície de metal é aplicado no CS300. o aço inoxidável 316 VV é usado e a rugosidade pode ser inferior a 5 RA, o que é exigido pelos semi-padrões.
4. Interfaces compatíveis
o MFC CS300 é compatível com as seguintes interfaces, que podem ser seleccionadas pelo cliente: fonte de alimentação dupla de ±8V-±16V e fonte de alimentação simples de +14V-+28V; entrada e saída de sinal digital ou analógico; dimensões mecânicas padrão SEMI; e módulo de comunicações RS-485 ou DeviceNetTM.
5. Funções diversas
o potente software do cliente é fornecido de série com cada modelo, enquanto funções adicionais como multi-gás, multi-faixa, auto-zero, alarmes, arranque suave e atraso estão disponíveis como selecções do cliente.
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