Os medidores e controladores de fluxo de massa de gás de vedação metálica de Bronkhorst caracterizam-se pela sua construção única e internacionalmente patenteada de vedação metal-metal com excelente capacidade de re-selagem. Além disso, distinguem-se por uma elevada qualidade de superfície e são, portanto, especialmente adequados para satisfazer os requisitos da indústria de semicondutores e solar, bem como outras aplicações de gás de alta pureza. Os blocos base dos Medidores e Controladores de Fluxo de Massa têm conexões de 1/4" de vedação facial macho (VCR).
Medidor/Controlador de fluxo de massa selado a metal com interface de barramento de campo
Os instrumentos de hoje estão equipados com um painel digital, oferecendo alta precisão, excelente estabilidade de temperatura e resposta rápida (tempo de assentamento t98 até 500 msec). O último EL-FLOW®design apresenta a funcionalidade Multi Gas / Multi Range, proporcionando aos clientes (OEM-) a máxima flexibilidade e eficiência de processo. Para conveniência do cliente, Bronkhorst fornece software de configuração fácil de usar.
Características
Construção de vedação externa metal-metal re-selável (sem anéis)
Alta qualidade de superfície das peças molhadas
Sala limpa montada
E/S analógica e digital, com interface opcionalmente integrada para CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS
Elevada precisão e repetibilidade
Controlo estável, mesmo com volumes de processo variáveis
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