A tecnologia de vaporização avançada permite uma produção de vapor mais pura e mais eficiente.
Muitos processos industriais e de semicondutores necessitam de converter líquidos, incluindo água e outros precursores líquidos, em vapores altamente controlados e puros.
A vaporização é uma transição de fase da fase líquida para a fase gasosa. Um vaporizador é, portanto, qualquer sistema que converte um material líquido num estado gasoso. Embora a vaporização seja conseguida de várias maneiras diferentes, todos os vaporizadores modernos - como os vaporizadores de água - têm várias
características comuns::
Aumentar a temperatura e/ou reduzir a pressão ambiente do líquido
Sistemas fechados para capturar e controlar o fluxo de vapor
Utilizam um sistema de feedback e de circuito de controlo para regular a taxa de vaporização
APLICAÇÕES-CHAVE
Vaporização/humidificação de água
Deposição de vapor químico
Deposição de películas finas para melhorar as características térmicas, ópticas ou de dureza
Vaporização de monómeros para a disposição de películas de polímeros em vácuo
Geração de vapor de calibração
Vaporização de hidrocarbonetos líquidos
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