Controlador de pressão de gás PC series

de fluxode precisão

Precisão sob pressão. Precisão sob controle. Os controladores de pressão e medidores da série PC100 combinam uma série de características tecnológicas de alto desempenho para oferecer um novo nível de precisão e confiabilidade de controle de pressão a semicondutores exigentes, deposição de vapor e outros processos de fabricação ultra-precisos. Construída com base na comprovada tecnologia do controlador de fluxo de massa Brooks GF100, a série PC100 apresenta um caminho de fluxo totalmente metálico de alta pureza, tecnologia de sensores melhorada projetada especificamente para eliminar o desvio do sensor e uma interface de usuário e capacidade de diagnóstico do dispositivo que facilita muito a avaliação e a solução de problemas do dispositivo, resultando em interrupção limitada do serviço e redução do tempo de inatividade. Características - Tempo de resposta: <1 segundo - Fluxos em escala real de até 10 mm - Faixa de pressão do transdutor: 1000 Torr FS - Caminho de fluxo totalmente metálico de vedação: acabamento superficial Ra de 5µ polegadas - PC125 com caudalímetro incorporado inclui um sensor de fluxo Hastelloy® C-22 altamente resistente à corrosão combinado com um processador ARM de alta velocidade - Conjunto de válvula de acção rápida sem diafragma - Visor LCD de alta visibilidade com botão de fácil acesso para indicação local de fluxo, temperatura e endereço de rede - Porta de diagnóstico/serviço independente - protocolo DeviceNet™ Benefícios Componentes de alto desempenho permitem resposta rápida e tempo de ajuste para melhor controle da pressão Redução do consumo de gás desviado e dos custos de redução associados Todo o metal, resistente à corrosão SEMI F20, com trajetória de fluxo úmido, com área total de superfície reduzida e volumes não chorados, garante uma secagem mais rápida durante as etapas de purga A estabilidade de longo prazo do sensor térmico ou de pressão maximiza o rendimento e o rendimento