Medidores compactos e comprovadamente não aquecidos para uma medição de vácuo econômica.
Os manômetros de capacitância da série CMC da Brooks Instrument oferecem uma medição de vácuo confiável e precisa em uma ampla faixa de temperaturas de operação, proporcionando uma alternativa econômica para os maiores medidores premium não aquecidos. Seu design compacto e seu desempenho comprovado fazem dele uma atualização ideal para ferramentas existentes que necessitam de um medidor de fator de forma pequeno.
A operação confiável e repetível é assegurada mesmo nos processos mais agressivos através do design totalmente soldado e das superfícies molhadas Iconel®. A combinação de componentes de precisão e uma ampla faixa de operação com compensação de temperatura permite que a Brooks ofereça os melhores coeficientes de temperatura zero e span da classe para uma ótima estabilidade de medição
Características
- Disponível para processos desde 10 Torr a 1000 Torr
- Dois níveis de precisão disponíveis: 0.25% ou 0,50% de leitura (opcional)
- Desempenho excepcional em uma ampla faixa de temperaturas de operação
- 40% menor que os tradicionais manômetros de capacitância não-aquecidos
- Construção totalmente soldada e superfícies molhadas Inconel®
Benefícios
- A calibração opcional de alta precisão corresponde à precisão de manômetros premium não aquecidos mais caros
- Os melhores coeficientes de temperatura zero e span da classe
- O design economizador de espaço ajuda a encaixar o dispositivo em espaços apertados de máquinas
- Óptima repetibilidade da medição em comparação com outros modelos que são propensos a induzir erros de tensão interna
Aplicações
Fabricação de Semicondutores
Processos de deposição de película fina - vidro, teia e revestimentos ópticos
Secagem a frio de materiais perecíveis
Revestimentos de alta tecnologia para instrumentos médicos (instrumentos cirúrgicos, brocas dentárias, etc.)
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