Estabelecer novos padrões com o transdutor Pirani da série VersaTorr BVT200/225. Esta é uma solução completa de medição para uma ampla seleção de aplicações de vácuo. Ele se diferencia de qualquer outro medidor de vácuo por oferecer uma medição independente de gás de 5,0E-3 a 1333 mbar em combinação com medição até 1E-6 mbar pelo uso do princípio de perda de calor.
Em aplicações de vácuo onde a composição ou tipo de gás pode mudar, os medidores Pirani tradicionais dependentes de gás resultarão em desvios de medição da pressão real. O transdutor Tri- Sensor utiliza um sensor de diafragma de capacidade de precisão (CDG) que elimina a dependência do gás e fornece medições precisas também quando as propriedades do gás mudam.
O sensor MEMS Pirani com perda de calor integrado estende o alcance de medição até 1E-6 mbar e proporciona um novo ajuste automático de zero do manômetro de capacitância que elimina as necessidades comuns de ajuste manual de zero dos manômetros de capacitância tradicionais.
Características & Benefícios
Faixa de medição ultra ampla de 9 décadas
O diafragma de capacitância adiciona maior precisão a 0,5% através da faixa de baixo vácuo
6 décadas de medição independente de gás de 5E-3 a 1333 mbar
Zeragem automática do manômetro de capacitância
Sensor de temperatura a vácuo para diagnóstico
Aplicações
Bloqueios de carga
Câmaras de transferência
Forelines
Linhas de desbaste a vácuo
Processamento de filmes finos
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