O sistema de análise de silício criogênico (CryoSAS) da Bruker Optics é um sistema dedicado integrado para análise de impureza do silicone em baixa temperatura (<15K). O CryoSAS é otimizado para operações no ambiente industrial.
O CryoSAS combina os espectrômetros FT-IR de alta performance da Bruker com a técnica integrada de criorrefrigeração de ciclo fechado que não requer hélio líquido. Todos os componentes do CryoSAS são de última geração e ainda utilizam tecnologias consagradas para realizar uma análise complexa no ambiente exigente de produção de silício. O CryoSAS pode ser operado em tal nível de automação incluindo relatórios precisos de resultados de análises.
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Outras características:
Alta sensibilidade:
O CryoSAS analisa impurezas puras (p. ex. boro, fósforo, etc.) até o nível ppta em conformidade com o padrão ASTM/SEMI MF1630. Além disso, ele analisa carbono e oxigênio simultaneamente até o nível baixo ppba em conformidade com o padrão ASTM/SEMI MF1391.