Analisador de oxigênio intersticial SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

de concentraçãopara lingotes de silício

SiBrickScan (SBS) é um sistema dedicado em linha para a quantificação FTIR de oxigênio intersticial em lingotes de silicone completos, resultando em um perfil de concentração preciso ao longo do eixo longitudinal. Aceder a esta informação sem serrar wafers ou preparar amostras de teste é uma vantagem importante e económica: qualificar lingotes individuais antes de serrar e optimizar o processo de cristalização do Si! Características únicas do SBS: - Alta sensibilidade com limites alcançáveis de detecção de oxigênio < 2 ppma - Calibração de alta qualidade diretamente ligada à ASTM/SEMI 1188 - Disponível para lingotes quadrados e cilíndricos de diferentes diâmetros - Trajeto inovador do feixe de alta sensibilidade com amostra de referência integrada - Interface de usuário intuitiva e confortável - Avaliação automatizada de dados - Design robusto e compatível com a indústria com acionamento linear preciso - Detector de infravermelhos líquido N2 livre