Máquina de deposição PVD NESSY series

por pulverização catódica de magnétronde camadas finasa vácuo

A série NESSY é um sistema de pulverização catódica magnética de última geração da Bühler Leybold Optics. É dedicada à produção de revestimentos de espelhos ultravioleta extremos (EUV) sob condições de ultra-alto vácuo (UHV) e é projetada para produção em massa, bem como para o desenvolvimento de novos produtos. As aplicadoras NESSY podem ser equipadas com até seis cátodos de pulverização catódica retangulares diferentes e podem utilizar molibdênio e silício, juntamente com outros materiais essenciais para obter um revestimento espelhado completo. Como resultado, uma pilha de revestimento completa pode ser executada em um ciclo. Aplicações revolucionárias com um coater adequado para o futuro Os espelhos multicamadas de molibdénio-silício com reflectância máxima a um comprimento de onda de 13,5 nm tornaram-se um clássico na tecnologia de reflexão. Estes espelhos são indispensáveis como espelhos condensadores ou projetores em equipamentos litográficos de última geração Além da litografia EUV, espelhos de interferência multicamadas podem ser usados em dispositivos de medição de raios X, óptica de radiação síncrotron e outras aplicações científicas sofisticadas. A grande variedade de substratos complexos torna a NESSY a escolha perfeita para o desenvolvimento de novas aplicações e componentes.