Máquina de deposição PECVD DynaJet

PVDpor pulverização catódicade filme metalizado

O DynaJet é o membro o mais novo da família de Dyna de metalizar sistemas. Este grupo que engasga o sistema combina o melhor de toda a experiência física Bühler do depósito de vapor (PVD) tem que oferecer. Os cátodos Rotatable fornecem uma dimensão nova na produtividade. A utilização alta do alvo oferece mais barato da posse devido a uma vida longa do alvo. O sistema de bomba turbomolecular (TMP) precisa somente uma fração da energia elétrica e da água refrigerando exigidas por sistemas convencionais. Todo o isto conduz a uma redução significativa de custos anuais da posse. Vida longa e agradecimentos rápidos da troca do alvo ao projeto inovativo - O projeto novo do alvo oferece uma utilização do alvo de 70- 80% em relação à versão anterior, que ofereceu a utilização de apenas 25%. Adicionalmente, o projeto rotatable do cátodo pode aumentar a vida do alvo tanto quanto quatro vezes. Os processos aumentados fornecem o revestimento de alta velocidade e a melhor homogeneidade de PVD - O cátodo rotatable longo e a garantia aperfeiçoada da cryo-bobina a melhor homogeneidade de PVD. Uma camada semi-transparente do salpico é uma outra aplicação possível. A gestão aperfeiçoada do arco de Bühler assegura um processo estável engasgar. Novidades no processo plasma-aumentado do depósito de vapor químico (PECVD) para permitir o parte-revestimento de alta velocidade. Um elemento chave mais adicional é o sistema de bombeamento eficiente do pre-vácuo da três-fase. O sistema de bomba novo oferece o uso eficaz da energia excelente - O consumo de energia média é um aspecto importante do custo da posse. O sistema de bomba novo do DynaJet com TMP salvar 800000 kW/h em 10 anos em relação a outras máquinas no mercado.