Máquina de deposição PVD SYRUSpro series

assistida por feixes de íonsde camadas finaspara optoeletrônica

A série SYRUSpro da Bühler Leybold Optics é uma plataforma líder na indústria de produção em volume com alta precisão e altos níveis de rendimento de revestimentos ópticos para óptica de precisão. As aplicadoras SYRUSpro são ideais para aplicações desde o ultravioleta profundo (DUV) via espectro visível (VIS) até a faixa espectral de infravermelho (IR). A variedade de revestimentos cobre filtros de borda (passagem curta e longa), filtros de corte UV-IR, filtros de entalhe e filtros passa-faixa estreita, filtros de cor dicróicos e divisores de feixe de polarização, revestimentos AR e HR para lasers e muito mais. Cada SYRUSpro é equipado de acordo com as exigências do cliente com um grande número de componentes próprios e padronizados da Bühler Leybold Optics. Isso permite que a atualização simples corresponda às crescentes necessidades do processo. Além disso, o sistema de controle de processo de última geração da Bühler Leybold Optics une alta flexibilidade de programação com níveis máximos de automação. Todos estes atributos se combinam para fornecer valores muito precisos, de alto rendimento e alto rendimento para a produção ininterrupta de filtros ópticos 24 horas por dia, 7 dias por semana. Diferentes tamanhos de câmara para máxima flexibilidade As aplicadoras SYRUSpro estão disponíveis em oito tamanhos diferentes de câmara com diâmetros internos entre 710 mm e 2810 mm. Isto significa que podemos oferecer uma câmara correspondente para corresponder perfeitamente às capacidades de carga e tamanhos de substrato definidos pelos nossos clientes. Como exemplo, nossas câmaras de 1950 mm ou 2810 mm são plataformas ideais para tamanhos extremos de substrato.