Máquina de deposição PECVD DLC

para revestimento de carbono diamantea vácuopara optoeletrônica

LEYBOLD OPTICS DLC é um sistema de deposição de vapor químico (PECVD) reforçado por plasma de alto vácuo para a aplicação de revestimentos anti-reflexo (AR) usados principalmente em aplicações de infravermelho (IR) para sistemas de imagem térmica. Líderes da indústria estão usando equipamentos LEYBOLD OPTICS DLC para proteger equipamentos ópticos contra danos por meio de revestimentos ópticos extremamente duros e resistentes ao meio ambiente que são aplicados sobre substratos dentro desta máquina. O projeto do sistema atinge superfícies de camadas extremamente duras O sistema LEYBOLD OPTICS DLC foi projetado para a produção de revestimentos de camada de carbono duro diamantado (DLC) para aplicações anti-reflexo IR em substratos de germânio (Ge) e silício (Si) Camadas de DLC extremamente duras protegem as superfícies ópticas expostas e aumentam a transmitância infravermelha. A uniformidade da camada permite o uso em aplicações de baixa luminosidade Com base no design do chuveiro de gás, os gases de processo são distribuídos dentro da câmara de processo de forma extraordinariamente uniforme. Assim, o crescimento da camada de filme sobre o substrato é extremamente preciso, o que é a chave para aplicações de baixa luminosidade, como dispositivos de visão noturna, sensores para controle de distância ou outras aplicações onde a luz no comprimento de onda IR é usada. O sistema de monitoramento óptico in-situ oferece alta precisão As precisões requeridas na espessura da camada e na repetibilidade do revestimento tornam essencial o controle constante do crescimento dos filmes ópticos DLC durante o processo de revestimento.