A solução ideal para aplicações leves a moderadas em semicondutores
Alto desempenho
Design de parafuso avançado, construção em forma de sino, parafusos autoequilibrantes patenteados, excelentes características de funcionamento, perfeitamente adequadas para tarefas em bloqueio de carga e câmaras de transferência, metrologia, litografia, deposição física de vapor e recozimento térmico rápido
Eficientes
Acionamento de velocidade variável inteligente, baixo custo de propriedade, manutenção mínima, elevado tempo de atividade, refrigeração direta por água
Compactas
Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, painel de controlo integrado