Espectrômetro de quadrupolo AKONIS

de mobilidade iônicade processopara a indústria dos semicondutores

SIMS totalmente automatizado para fabricação de semicondutores em alto volume A ferramenta AKONIS SIMS preenche uma lacuna crítica nos processos de fabricação de semicondutores, fornecendo alto rendimento, detecção de alta precisão para perfis de implantes, análise de composição e dados interfaciais, todos necessários para produção em alto volume. AKONIS oferece um altíssimo nível de automação para garantir repetibilidade entre as ferramentas para o controle de processo de nível de fabricação, bem como correspondência de ferramenta a ferramenta. Complemento para o IMS Wf/SC Ultra e o SIMS 4550 (quadrupolo SIMS) usado para dar suporte à indústria de semicondutores por meio de laboratórios de caracterização, o AKONIS – com automação completa das rotinas de configuração e aquisição de instrumentos – permite análises rápidas dentro da fábrica sem comprometer a sensibilidade analítica. O AKONIS se beneficia do desenvolvimento recente da tecnologia de coluna iônica EXLIE (Extremely Low Impact Energy) (<150 eV), juntamente com um sistema completo de manuseio de wafer, que inclui um estágio de alta resolução e permite medições em contatos de até 20 μm. O capacitador de alto rendimento em N5 e além Composição de alta resolução e perfilamento rápido de profundidade de dopante de pilhas multicamadas de SiGe e SiP Inigualável nos limites de detecção de contatos de até 20 μm Redução de mais de 97% do tempo nos dados de feedback para a linha de processo Medição de manta e wafer completo padronizado Motor de reconhecimento de padrões acoplado ao estágio interferométrico de alta resolução para uma precisão de posição < 2 μm