Espectrômetro de massa IMS 7f-Auto

de massa com ionização secundáriapara a indústria dos semicondutoresPMT

Ferramenta SIMS Versátil: Sensibilidade de Detecção de Referência com Alto Rendimento e Automação Total O IMS 7f-Auto é a versão mais recente de nossa bem-sucedida linha de produtos IMS xf Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS). Projetado para fornecer análises elementares e isotópicas de alta precisão com maior facilidade de uso e produtividade, foi otimizado para aplicações desafiadoras, como vidro, metais, cerâmica, dispositivos Si-based, III-V e II-VI, materiais a granel, filmes finos... cumprindo os requisitos da indústria para o desenvolvimento eficiente de dispositivos e controle de processos. Principais características analíticas para resolver uma ampla gama de problemas analíticos O IMS 7f-Auto oferece recursos incomparáveis de perfilamento de profundidade com alta resolução de profundidade e alta faixa dinâmica. O espectrômetro de massa de alta transmissão é combinado com duas fontes de íons reativos de alta densidade, O2+ e Cs+, proporcionando alta taxa de pulverização catódica e excelentes limites de detecção. Um design óptico exclusivo permite tanto a microscopia de íons diretos quanto a geração de imagens de microssondas de varredura Automação e eficiência operacional melhoradas O IMS 7f-Auto é equipado com uma coluna primária em linha redesenhada para facilitar e acelerar o ajuste do feixe primário e otimizar a estabilidade da corrente do feixe primário. Novas rotinas automatizadas minimizam os preconceitos relacionados ao operador e melhoram a facilidade de uso. Uma câmara de armazenamento motorizada com carga/descarga automatizada de suportes de amostras garante alto rendimento através de encadeamento de análise e operação remota.