Estufa tubular AZ series

de recozimentode sublimaçãode secagem

O AZ é um forno de tubo de oito zonas para perfis de temperatura controlados. Essas zonas podem ser usadas para gerar perfis de temperatura ao longo do comprimento aquecido do forno. Com oito zonas, isolamento espesso e enrolamento altamente simétrico dos elementos de aquecimento em todo o forno AZ, uma uniformidade melhor que ± 5 ° C é alcançada. Uma vantagem chave das oito zonas controladas individualmente é a extensão do comprimento uniforme dentro do forno. Além disso, o perfil de temperatura pode ser controlado com precisão para aumentos lineares, picos ou outros perfis definidos pelo usuário. Um processo adequado para o forno tubular AZ é a deposição química de vapor, pois um gradiente de temperatura pode ser estabelecido no forno para a evaporação do material precursor na zona final de alta temperatura e sublimação do vapor no substrato na zona final de temperatura mais fria. Todas as zonas são controladas individualmente e monitoradas com termopares. CARACTERÍSTICAS PADRÃO Construção semelhante ao fornos tubulares FHA / FHC Controle de oito zonas para perfis de aquecimento variáveis Gradientes, aumento / diminuição linear etc. de temperatura ao longo do comprimento aquecido Distribuição uniforme de temperatura estendida Taxas curtas de aquecimento e resfriamento Operação automática Registro de dados para gerenciamento de qualidade Retransmissão do ponto selecionado