Feturces
* - Scanner 3D de micro profundidade
* - Medição de metrologia de alta velocidade/não de contacto
* - Análise da superfície
* - Não transparente/transparente
Aplicações,
* Painel táctil / Painel solar / Wafer
* - Micro Electro Mecânica(MEMS)
* - Placa de circuito impresso de circuito de alta densidade
* - Pacote IC
* - Uma variedade de funções de medição: contorno da microestrutura, tamanho, profundidade holc, espessura da película de falha, diférência de espessuras, ângulo, rugosidade, planeza
-Como funciona..
A luz branca é de fraca intensidade -
As melhores franjas de interferência só produzem Na posição de focagem, a interferência causada pela luz desfocada e desviada é excluída, e a posição da melhor franja de interferência é gravada com a "câmara CCD de alta velocidade tipo superfície". Não é necessária a digitalização ponto a ponto, e o "scanner vertical" é utilizado para mover a lente objetiva para gravar a posição em altura., a topografia de superfície 3D do objecto de medição pode ser reproduzida.
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